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发明名称 HALBLEITERSCHEIBE MIT DÜNNER EPITAKTISCHER SILIZIUMSCHICHT UND HERSTELLUNGSVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE50000265(D1) 申请公布日期 2002.08.08
申请号 DE20005000265 申请日期 2000.03.02
申请人 WACKER SILTRONIC GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERMATERIALIEN AG 发明人 SCHAUER, REINHARD;BLIETZ, MARKUS;VON AMMON, WILFRIED;SCHMOLKE, RUEDIGER
分类号 C30B15/00;C30B25/18;(IPC1-7):C30B25/18 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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