GMR STRUCTURE AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer GMR-Struktur, bei dem auf einen Träger (10, 12, 30, 34) eine metallische Vielfachschicht (12) aufgebracht wird und bei dem die metallische Vielfachschicht (14) zum Erzeugen der GMR-Struktur strukturiert wird, wobei der Träger (10, 12, 30, 34) vor dem Aufbringen der metallischen Vielfachschicht eine Struktur aufweist und das Strukturieren der metallischen Vielfachschicht durch CMP erfolgt. Die Erfindung betrifft ferner eine GMR-Struktur mit einem Träger (10, 12, 30, 34) und einer auf dem Träger (10, 12, 30, 34) angeordneten strukturierten metallischen Vielfachschicht, wobei die strukturierte metallische Vielfachschicht (14) in einer oder mehreren Vertiefungen (50) des Trägers (10, 12, 30, 34) angeordnet ist. Die Erfindung betrifft ferner eine Verwendung von GMR-Strukturen.