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发明名称 Positiv arbeitende Photoresistzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE69707722(T2) 申请公布日期 2002.08.08
申请号 DE19976007722T 申请日期 1997.01.21
申请人 FUJI PHOTO FILM CO., LTD. 发明人 TAN, SHIRO;SAKAGUCHI, SHINJI
分类号 G03F7/004;G03F7/022;G03F7/023;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/023 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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