摘要 |
<p>Beschrieben wird eine Lagervorrichtung (39,40), die insbesondere für den Einsatz in gereinigten Atmosphären wie Reinräumen oder Reinluftbereichen in Fertigungsanlagen geeignet ist. Um zu verhindern, daß Abrieb aus der Lagervorrichtung (10,40) in die gereinigte Atmosphäre gelangt, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, die Lagervorrichtung (39,40) mit einem Gasabzug (44,52) zu versehen, der mit einer Unterdruckleitung (42) verbunden ist. Auf diese Weise wird Gas aus der gereinigten Atmosphäre abgezogen und zieht eventuell auftretenden Abrieb mit zu einem Außenbereich.</p> |