发明名称 BEARING DEVICE FOR USE IN PURIFIED ATMOSPHERES
摘要 <p>Beschrieben wird eine Lagervorrichtung (39,40), die insbesondere für den Einsatz in gereinigten Atmosphären wie Reinräumen oder Reinluftbereichen in Fertigungsanlagen geeignet ist. Um zu verhindern, daß Abrieb aus der Lagervorrichtung (10,40) in die gereinigte Atmosphäre gelangt, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, die Lagervorrichtung (39,40) mit einem Gasabzug (44,52) zu versehen, der mit einer Unterdruckleitung (42) verbunden ist. Auf diese Weise wird Gas aus der gereinigten Atmosphäre abgezogen und zieht eventuell auftretenden Abrieb mit zu einem Außenbereich.</p>
申请公布号 WO2002060607(A1) 申请公布日期 2002.08.08
申请号 EP2002001062 申请日期 2002.02.01
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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