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发明名称 Vacuum processing apparatus and operating method therefor
摘要
申请公布号 EP1079418(A3) 申请公布日期 2002.08.07
申请号 EP20000121401 申请日期 1991.08.19
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KATO, SHIGEKAZU;TSUBONE, TSUNEHIKO;NISHIHATA, KOUJI;ITOU, ATSUSHI
分类号 B01J3/00;B41J2/36;B41J2/365;C23C14/56;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
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