| 发明名称 |
Improved ion beam sputtering |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0962547(B1) |
申请公布日期 |
2002.08.07 |
| 申请号 |
EP19990303750 |
申请日期 |
1999.05.13 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
PINARBASI, MUSTAFA |
| 分类号 |
H01F41/18;C23C14/04;C23C14/34;C23C14/46;G11B5/31;G11B5/39;H01F10/08;H01F10/32;H01J37/317;H01L21/203;H01L43/12;(IPC1-7):C23C14/46;G11B5/84 |
主分类号 |
H01F41/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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