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发明名称 Prober and probe method
摘要
申请公布号 EP1160577(A3) 申请公布日期 2002.08.07
申请号 EP20010119620 申请日期 1998.05.05
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 IINO, SHINJI;YOSHIOKA, HARUHIKO
分类号 G01R31/28;(IPC1-7):G01R1/073;G01R31/316 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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