| 发明名称 |
Broadband spectroscopic rotating compensator ellipsometer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1197741(A3) |
申请公布日期 |
2002.08.07 |
| 申请号 |
EP20010204896 |
申请日期 |
1997.07.22 |
| 申请人 |
THERMA-WAVE INC. |
发明人 |
ASPNES , DAVID E.;OSPAL, JON |
| 分类号 |
G01N21/21;G01B11/06;G01J3/02;G01J3/447;G01J4/00;G01J4/04;G02F1/01;(IPC1-7):G01N21/21 |
主分类号 |
G01N21/21 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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