| 发明名称 |
High frequency pulse width modulation driver particularly useful for electrostatically actuated mems array |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002241976(A1) |
申请公布日期 |
2002.08.06 |
| 申请号 |
AU20020241976 |
申请日期 |
2002.01.24 |
| 申请人 |
MOVAZ NETWORKS, INC. |
发明人 |
STEVEN L. GARVERICK;MICHAEL L. NAGY |
| 分类号 |
B81B3/00;G02B6/12;G02B6/26;G02B6/34;G02B6/35;G02B26/08;H04Q11/00;(IPC1-7):H02N1/00 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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