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发明名称
摘要
申请公布号 JP2002524853(A) 申请公布日期 2002.08.06
申请号 JP20000568119 申请日期 1999.08.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/22;H01L21/223;H01L21/225;H01L21/331;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/822;H01L21/824 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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