发明名称 ANALYZING METHOD FOR PROXIMITY EFFECT OF ELECTRON BEAM EXPOSURE
摘要
申请公布号 JPH01232720(A) 申请公布日期 1989.09.18
申请号 JP19880059721 申请日期 1988.03.14
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 IKEDA KAZUJI
分类号 H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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