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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01222462(A)
申请公布日期
1989.09.05
申请号
JP19880047995
申请日期
1988.03.01
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
MOROZUMI YUKIO
分类号
H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
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