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发明名称
摘要
申请公布号 JP3310840(B2) 申请公布日期 2002.08.05
申请号 JP19950294921 申请日期 1995.10.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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