| 发明名称 |
Gate oxide fabrication process |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2367427(A8) |
申请公布日期 |
2002.08.02 |
| 申请号 |
GB20010018143 |
申请日期 |
2000.01.12 |
| 申请人 |
LUCENT TECHNOLOGIES, INC |
发明人 |
YUANNING CHEN;SUNDAR SRINIVASAN CHETLUR;PRADIP KUMAR ROY |
| 分类号 |
H01L21/283;C30B33/00;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/318;H01L29/51;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
H01L21/283 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
