发明名称 |
PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02129375(A) |
申请公布日期 |
1990.05.17 |
申请号 |
JP19880279424 |
申请日期 |
1988.11.07 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
FURUMURA YUJI;TOKI MASAHIKO |
分类号 |
C23C16/50;C23C16/511;C23C16/515;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/50 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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