| 主权项 |
1.一种用以防止能量转移至经由气体线路馈入之气体的装置,该装置至少包含:由静态分散材料制成之气流传输通道,此气流传输通道具有第一端连接一电致能元件及一第二端连接接地元件,这气流传输通道被界定有一空隙且沿着其长度以设置一气体线路通过。2.如申请专利范围第1项所述之装置,更包含一密封环于气流传输通道之第一端点和电致能元件之间。3.如申请专利范围第2项所述之装置,更包含一密封环于气流传输通道第一端点和接地元件之间。4.如申请专利范围第1项所述之装置,其中气流传输管电阻约在1.25106至5106欧姆公分之间。5.如申请专利范围第4项所述之装置,其中空隙设置有一对气体线路系有一间距平行关系。6.如申请专利范围第4项所述之装置,其中空隙设置有一对气体线路系以绝缘材料置于气体线路和气流传输通道之间而保持一间距平行关系。7.如申请专利范围第1项所述之装置,其中气流传输通道为一单一主体。8.一种提供气体进入制程反应室的装置,至少包含:a)从气体源导入制成气体的气体入口导管;b)连接至一电力源并提供一入口至反应室之气体出口导管;c)至少一气体线路,延伸于气体入口和气体出口之间;以及d)一静态分散气流传输通道,配置成环绕气体线路。图式简单说明:第1图为一先前技术之气体分布平板概要图。第2图为依照本发明由静态分散复合所制成之双气流传输管的分解图。第3图为概要图描述在本发明中静电放电塑料板之电阻频谱。 |
