基板端面之洗净装置及其方法

摘要

本发明之基板端面洗净装置9系以图1为参考，夹住基板1之周围端面于上面洗净滚轮16之弹性多孔质体29和下面洗净滚轮17之弹性多孔质体30之间。当驱动马达13时，其旋转会藉驱动滑轮18、(皮)带26及被驱动滑轮24来传达于旋转轴17a，使得旋转下面洗净滚轮17之同时，藉驱动滑轮22、皮带25及被驱动滑轮23来传达于旋转轴16a，致使上面洗净滚轮16朝与下面洗净滚轮17成反方向旋转。又从洗净液供应管嘴31藉洗净液供应管31a来供应洗净液于支撑构件27、28内部，以令洗净液藉形成于支撑构件27、28之外周壁的连通孔35渗透至弹性多孔质体29、30。而以该状态下，并予以旋转上面洗净滚轮16和下面洗净滚轮17之情况下，沿着被夹住于上面洗净滚轮16之弹性多孔质体29和下面洗净滚轮17之弹性多孔质体30间之基板1之周围端面，由移动体11来使上面洗净滚轮16及下面洗净滚轮17成相对性地移动。由而，能有效果性地防止洗净液之弹回，使得可维持要形成于基板1上之高精致图案之品质。

主权项

1.一种基板端面之洗净装置,其特征为具备有:对于基台配设成旋转自如之上面洗净滚轮,具有支撑构件和配设于该支撑构件外周的弹性多孔质体的上面洗净滚轮;对于前述基台配设成旋转自如之下面洗净滚轮,具有支撑构件和配设于该支撑构件外周而要夹住基板之周围端面于与前述上面洗净滚轮之前述弹性多孔质体之间用的弹性多孔质体之下面洗净滚轮;要旋转前述上面洗净滚轮和前述下面洗净滚轮用的旋转驱动机构;要对于前述基板成相对性地移动前述上面洗净滚轮及前述下面洗净滚轮用之移动机构;及对于前述上面洗净滚轮之前述弹性多孔质体及前述下面洗净滚轮之前述弹性多孔质体中之至少一方要供应洗净液用的洗净液供应机构。2.如申请专利范围第1项之基板端面之洗净装置,其中具有要对于前述弹性多孔质体供应洗净液的洗净液供应管。3.如申请专利范围第2项之基板端面之洗净装置,其中前述支撑构件系由具有连通孔于其外周壁之中空状构件所形成,并藉前述支撑构件之内部及前述连通孔来对于前述弹性多孔质体供应从前述洗净液供应管所供应之洗净液。4.如申请专利范围第1项之基板端面之洗净装置,其中前述上面洗净滚轮及前述下面洗净滚轮中之至少一方,对于前述基台以藉旋转轴来配设成旋转自如,而前述洗净液供应机构具有配设于前述上面洗净滚轮或前述下面洗净滚轮之旋转轴内部而要对于前述弹性多孔质体要供应洗净液用的洗净液通道。5.如申请专利范围第4项之基板端面之洗净装置,其中前述支撑构件乃连通于前述旋转轴之前述洗净液通道并且具有对于前述弹性多孔质体开口的连通路,并藉前述连通路来对于前述弹性多孔质体供应由前述旋转轴之前述洗净液通道所供应之洗净液。6.如申请专利范围第4项之基板端面之洗净装置,其中前述支撑构件系由具有连通孔于其外周壁之中空状构件所形成,而藉前述支撑构件之内部及前述连通孔来对于前述弹性多孔质体供应由前述旋转轴之前述洗净液通道所供应的洗净液。7.如申请专利范围第1项之基板端面之洗净装置,其中前述旋转驱动机构乃由一驱动马达来使前述上面洗净滚轮和前述下面洗净滚轮成联销旋转。8.一种基板端面之洗净方法,其特征为包括有:要夹住基板之周围端面于上面洗净滚轮之弹性多孔质体和下面洗净滚轮之弹性多孔质体之间的过程,对于前述上面洗净滚轮之前述弹性多孔质体及前述下面洗净滚轮之前述弹性多孔质体中的至少一方要供应洗净液的过程;及以旋转前述上面洗净滚轮和前述下面洗净滚轮之状态下,对于被夹住于前述上面洗净滚轮之前述弹性多孔质体和前述下面洗净滚轮之前述弹性多孔质体间的前述基板,形成相对性地来移动前述上面洗净滚轮及前述下面洗净滚轮的过程。图式简单说明:图1A、图1B及图1C系显示依据本发明的基板端面之洗净装置的一实施形态之图,其中图1A系基板端面之洗净装置的平面图(部分剖面图)、图1B系沿图1A之IB-IB线的剖面图,图1C系沿图1A之IC-IC线的剖面图(对于纸面之深入(里面)一侧乃适当地予以省略),图2系显示使用图1A、图1B及图1C所示的基板端面之洗净装置的洗净方式具体例子之图,图3系显示依据本发明的基板端面之洗净装置的其他实施形态之图(与图1C同样之剖面图),图4A及图4B系用以说明习知的基板端面之洗净装置用的图。