| 主权项 |
1.一种圆筒,其系具有2个的流体埠(5,6),并利用给该 埠之流体施加至活塞(4)上的压力,以进行活塞杆(3) 的往复运动,其特征为包括有: 弹簧支撑构件(14),在圆筒筒管(2)的活塞室内,与活 塞杆同轴地配置成扣止于上述活塞室的一侧端面( I或II); 第1弹簧构件(15),配置于该弹簧支撑构件与上述活 塞(4)间,以使两者分开; 止动部(8),设于上述活塞杆上,用以限制其朝向相 对于上述弹簧支撑构件之活塞杆的上述活塞之相 反方向移动; 凹部(9),设于较靠近上述止动部却又较离开上述活 塞之位置的活塞杆上;及 止动销(11),藉由第2弹簧构件(12)朝向上述凹部方向 增能,以扣合上述凹部的方式配置于上述圆筒筒管 , 藉由上述活塞室的另一侧的端面(II或I)与上述活 塞(4)抵接的第1位置,上述凹部(9)的一端与上述止 动销(11)抵接的第2位置,及上述弹簧支撑构件(14)之 活塞方向的移动受到扣止的第3位置或上述凹部(9) 的另一端与上述止动销(11)抵接的第3位置的3个位 置,规定活塞杆的送出。2.一种清洁环境用负载埠, 其系包括有:具开口之框架(31);平台(32),用以载置 藉由闩锁(56)固定前门(52)且保持内部之密闭状态 的基板收纳容器(56),且可沿上述框架的方向移动; 及埠门(33),由上述平台的相反侧插入上述开口,用 以进行上述前门之闩锁的锁定与解除,该负载埠系 使上述平台移动至上述框架侧,并使上述前门成为 密接固定于上述埠门的状态,以进行上述前门的的 锁的锁定与解除,其特征为: 上述埠门(33),系上述基板收纳器之前门之闩锁的 锁定与解除用的闩锁键(35),其具有使旋转至垂直 位置以锁定闩锁、至水平位置以解除锁定的闩锁 键,及使该闩锁键旋转用的圆筒(1),在使上述闩锁 键旋转至垂直位置以锁定闩锁之际,使闩锁键由水 平位置开始旋转至超过90的角度,之后,再返回至90 的位置地予以构成者。3.如申请专利范围第2项之 清洁环境用负载埠,其中上述圆筒,系具有2个流体 埠,并利用供给该埠之流体施加至活塞上的压力, 以进行活塞杆的往复运动,其包括有: 弹簧支撑构件,在圆筒筒管的活塞室内,与活塞杆 同轴地配置成扣止于上述活塞室的一侧端面; 第1弹簧构件,配置于该弹簧支撑构件与上述活塞 间,以使两者分开; 止动部,设于上述活塞杆上,用以限制其朝向相对 于上述弹簧支撑构件之活塞杆的上述活塞之相反 方向移动; 凹部,设于较靠近上述止动部却又较离开上述活塞 之位置的活塞杆上;及 止动销,藉由第2弹簧构件朝向上述凹部方向的增 能,以扣合上述凹部的方式配置于上述圆筒筒管, 上述活塞室的另一侧的端面与上述活塞抵接的第1 位置,上述凹部的一端与上述止动销抵接的第2位 置,及上述弹簧支撑构件之活塞方向的移动受到扣 止的第3位置或上述凹部的另一端与上述止动销抵 接的第3位置的3个位置,系对应于上述闩锁键之水 平位置、垂直位置及超过90的角度。4.如申请专 利范围第2或3项之清洁环境用负载埠,其中,在将上 述闩锁键旋转至水平位置以进行闩锁解除之际,使 其超过水平位置再旋转至规定之角度。5.如申请 专利范围第2或3项之清洁环境用负载埠,其中,形成 连结2个闩锁键,以1个圆筒同时旋转上述2个闩锁键 的构成。6.如申请专利范围第4项之清洁环境用负 载埠,其中,形成连结2个闩锁键,以1个圆筒同时旋 转上述2个闩锁键的构成。7.一种清洁环境内生产 系统,系于由具备进行基板收纳容器之开或闭之负 载埠之多个处理装置及将该基板收纳容器运送至 上述负载埠之运送系构成之清洁环境内生产系统 中,其特征为:该负载埠包括有:具开口之框架;平台 ,用以载置藉由闩锁固定前门且保持内部之密闭状 态的基板收纳容器,且可沿上述框架的方向移动; 埠门,及由上述平台的相反侧插入上述开口,用以 进行上述前门之闩锁的锁定与解除,该负载埠系使 上述平台移动至上述框架侧,并使上述前门成为密 接固定于上述埠门的状态,以进行上述前门的闩锁 的锁定与解除, 上述埠门,系上述前门之闩锁的锁定与解除用的闩 锁键,其具有使旋转至垂直位置以锁定闩锁、至水 平位置以解除锁定的闩锁键,及使该闩锁键旋转用 的圆筒,在使上述闩锁键旋转至垂直位置以锁定闩 锁之际,使闩锁键由水平位置开始旋转至超过90的 角度,之后,再返回至90的位置地予以构成者。8.如 申请专利范围第7项之清洁环境内生产系统,其中 上述圆筒,系具有2个流体埠,并利用供给该埠之流 体施加至活塞上的压力,以进行活塞杆的往复运动 ,其包括有: 弹簧支撑构件,在圆筒筒管的活塞室内,与活塞杆 同轴地配置成扣止于上述活塞室的一侧端面; 第1弹簧构件,配置于该弹簧支撑构件与上述活塞 间,以使两者分开; 止动部,设于上述活塞杆上,用以限制其朝向相对 于上述弹簧支撑构件之活塞杆的上述活塞之相反 方向移动; 凹部,设于较靠近上述止动部却又较离开上述活塞 之位置的活塞杆上;及 止动销,藉由第2弹簧构件施以朝向上述凹部方向 的增能,以扣合上述凹部的方式配置于上述圆筒筒 管, 上述活塞室的另一侧的端面与上述活塞抵接的第1 位置,上述凹部的一端与上述止动销抵接的第2位 置,及上述弹簧支撑构件之活塞方向的移动受到扣 止的第3位置或上述凹部的另一端与上述止动销抵 接的第3位置的3个位置,系对应于上述闩锁键之水 平位置、垂直位置及超过90的角度。9.如申请专 利范围第7或8项之清洁环境内生产系统,其中,在将 上述闩锁键旋转至水平位置以进行闩锁解除之际, 使其超过水平位置再旋转至规定之角度。10.如申 请专利范围第7或8项之清洁环境内生产系统,其中, 形成连结2个闩锁键,以1个圆筒同时旋转上述2个闩 锁键的构成。11.如申请专利范围第9项之清洁环境 内生产系统,其中,形成连结2个闩锁键,以1个圆筒 同时旋转上述2个闩锁键的构成。图式简单说明: 图1为显示本发明之圆筒的构成的概略剖面图。 图2(A)至(D)为显示本发明之圆筒的动作原理的概略 剖面图。 图3(A)至(D)为显示本发明之圆筒的另一构成例的剖 面图。 图4为显示本发明之圆筒的又一构成例的剖面图。 图5为显示负载埠的构成的概略立体图。 图6为显示FOUP的概略立体图。 图7(A)、(B)为组入本发明之圆筒的埠门的构成图。 图8(A)至(D)为显示本发明之负载埠的圆筒的动作原 理的概略剖面图。 图9(A)至(D)为显示本发明之负载埠的(a)闩锁键动作 与(b)圆筒的电磁阀电路的模式图。 图10(A)至(C)为说明伴随活塞杆的往复运动的圆筒 的摇动的俯视图。 图11为显示本发明之半导体生产方式的概念图。 图12(A)至(C)为显示连结2个习知构造的圆筒,可将活 塞杆送出至3个位置的圆筒的概略剖面图。 图13(a)至(b)为显示闩锁键与闩锁键承接部的关系 的模式图。 |
