TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP WITH ROTOR AND STATOR VANES

摘要

Turbomolekularvakuumpumpe (1) mit einem Einlass (3) und einem Auslass (4) sowie mit zwischen Einlass und Auslass befindlichen Rotor- und Statorschaufeln (5 bzw. 6), wobei die Rotorschaufeln (6) in Bezug auf ihre Drehrichtung Vorderseiten (11) und Rückseiten (12) aufweisen; um die Fördereigenschaften der Pumpe zu verbessern, wird vorgeschlagen, dass zumindest ein Teil der Rotorschaufeln (6) eine Rückseite (12) aufweist, die saugseitig konvex und druckseitig konkav gestaltet ist, oder dass zumindest ein Teil der Rotorschaufeln (6) eine Vorderseite (11) aufweist, die saugseitig konkav und druckseitig konvex gestaltet ist.