Method and Apparatus for Coating Inner Surface of Tubes or Cylinders Using Laser Ablation
摘要
<p>본 발명은 레이저 어블레이션(laser ablation)을 이용하여 Cr 또는 Ti의 탄화물 및 질화물 박막 또는 비정질 다이아몬드상 탄소 박막을 튜브 또는 실린더의 내벽에 길이 방향으로 균일하게 코팅시키는 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명의 방법에 따르면, 튜브 또는 실린더의 내벽에 내식성, 내마모성 및 내마멸성 등이 증진된 매우 치밀한 박막을 코팅할 수 있다.</p>