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发明名称 BAFFLE PLATE, APPARATUS FOR PRODUCING THE SAME, METHOD OF PRODUCING THE SAME, AND GAS PROCESSING APPARATUS CONTAINING BAFFLE PLATE
摘要
申请公布号 KR20020063253(A) 申请公布日期 2002.08.01
申请号 KR1020027008049 申请日期 2002.06.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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