| 摘要 |
본 발명의 목적은 기판들의 처리, 특히 반도체 웨이퍼들의 처리를 위해 제공되고 처리 탱크(3)를 포함하는 장치의 분리된 흡입 개구부들(13, 14, 15)을 개방하고 폐쇄하기 위한 간단하고 경제적인 장치를 제공하는 것이다. 상기 처리 탱크는 처리 유체로 채워지고 적어도 두 개의 분리된 흡입 개구부들(13, 14, 15)을 갖는 실질적으로 폐쇄된 공간에 배열된다. 이 때문에, 상기 공간으로부터 그것을 분리시키는 동안 상기 흡입 개구부를 커버하고 관통 개구부(18)를 포함하는 회전 디스크(17)가 제공된다. 상기 흡입 개구부들(13, 14, 15) 중의 하나가 상기 관통 개구부에 의해 적어도 부분적으로 중첩될 수 있다. |
