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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03159273(A) 申请公布日期 1991.07.09
申请号 JP19890299131 申请日期 1989.11.17
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 MUKODA HIDEFUMI;IKEDA TAISUKE;TERASAWA MASAAKI;TSUYAMA TOMOSUKE;NAGAI YOSHIKAZU;FURUSAWA KAZUNORI
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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