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发明名称 Elektronisches Bauteil mit einem Halbleiterchip und elektronisches Bauteil mit einer Teststruktur auf einem Halbleiterchip sowie Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE10021865(C2) 申请公布日期 2002.08.01
申请号 DE2000121865 申请日期 2000.05.05
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 ALPERN, PETER;SAUERT, WOLFGANG;HERZOG, THOMAS;SCHAUER, HEINZ;TILGNER, RAINER
分类号 H01L21/66;H01L21/768;H01L23/544;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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