| 摘要 |
<p>본 발명은 약 0 psig 이상의 압력을 가진 입자 함유 가스 중의 입자를 검출하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 상기 장치는, 약 0 psig 이상의 압력을 가진 압축 가스를 수용하는 가스 분배 라인, 및 이 가스 분배 라인 내의 압축 가스와 유체 연통 관계에 있는 응축 핵 계측기를 포함한다. 응축 핵 계측기는 가스 분배 라인 내 압축 가스의 압력과 실질적으로 동일한 압력 하의 압축 가스 스트림을 수용하도록 설계되어 있다. 응축 핵 계측기는, 예를 들어 마이크로 칩 가공 과정 중에 사용되는 것과 같은 하나 이상의 반응성 또는 독성 가스, 또는 불활성 가스일 수 있는 압축 가스와의 반응 및 부식에 대해 내성을 가진 물질로 제조된다.</p> |
