利用负压供气容器的自动切换气体输送系统

摘要

一种自动切换负压气体输送系统(10),用以分配气体至一气体消耗加工处理单元(38),例如一个半导体制造工具(38)。

主权项

1.一种自动切换负压气体输送系统，包含：(a)若干个气体构架，每一气体构架包括气流回路，包含一产品气流线路，可联结至一负压气体源，用以供被分配气流通过，一清除气体线路，可联结至一清除气体源，用以供清除气流通过，一在产品气流线路中的压力控制流动调节器，及可选择性引动阀，用以选择性且独力地隔离在构架的气流回路中的每一产品气流线路与清除气体线路，以预防气流通过；(b)一产品气体岐管，互连在每一气体构架中的产品气流线路，用以自该气体构架之一主动分配气体构架的产品气流线路排出产品气体；(c)一清除气体岐管，以气流连通的方式与在每一气体构架中的产品气流线路及清除气体线路联结；(d)一可选择性引动排气驱动器，被安排以经由该清除气体岐管，自该气体构架中的一未分配气体构架的流动回路排除气体；及(e)一中央处理单元(CPU)，被安排以选择性的引动： (1)在每一气体构架中，可选择性引动阀，及 (2)可选择性引动排气驱动器，因此，顺序地、交替地、及个别地操作每一气体构架于作业模式中，包含(I)一主动分配作业模式，其中，来自负压气体源的气流通过产品气流线路而至产品气体岐管，(II)一清除作业模式，其中，来自清除气体源的清除气流通过清除气体线路且进入产品气流线路及清除气体岐管，(III)一排气作业模式，其中，清除气体线路、产品气流线路、及清除气体岐管，均在排气驱动器的作用下被排气，及(IV)一填入移转至主动气体分配状况操作模式，其中，产品气流线路填满来自产品气体岐管的产品气体，且在产品气流线路中的压力控制流动调节器，操作以调节经由产品气流线路流至产品气体岐管的来自负压气体源的产品气体流，以供重新起始(I)主动分配作业模式。