发明名称 SPACER PROCESS TO ELIMINATE ISOLATION TRENCH PARASITIC CORNER DEVICES IN TRANSISTORS
摘要
申请公布号 EP1226606(A1) 申请公布日期 2002.07.31
申请号 EP20000980252 申请日期 2000.11.01
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES NORTH AMERICA CORP. 发明人 VOLLRATH, JOERG
分类号 H01L21/76;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/51;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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