发明名称 | 用于海军航空发动机压气机叶片的离子镀TiAlN涂层 | ||
摘要 | 本发明涉及一种金属表面涂覆技术,具体是利用镀膜机,利用成分调制和工艺参数的控制方法,利用镀料钛、铝熔点和蒸气的不同,及反应活性的差异控制沉积参数形成Al-(Ai、Al)-TiN无界面梯度涂层。优点:利用成分调制和工艺参数的控制,在不需要对设备改造的前提下,解决了阻碍离子镀TiN涂层应用于防腐领域的针孔、空洞等问题。 | ||
申请公布号 | CN1361308A | 申请公布日期 | 2002.07.31 |
申请号 | CN00136042.6 | 申请日期 | 2000.12.29 |
申请人 | 中国科学院金属研究所 | 发明人 | 王福会;李明升;徐家寅 |
分类号 | C23C14/06;C23C14/30;F01D5/28 | 主分类号 | C23C14/06 |
代理机构 | 沈阳科苑专利代理有限责任公司 | 代理人 | 朱光林 |
主权项 | 1.一种用于海军航空发动机压气机叶片的离子镀TiAlN涂层,其特征在于离子镀TiAlN涂层工艺方法如下:利用IPB30/30T型空心阴极离子镀膜机,根据镀料中钛、铝熔点和蒸气压的不同及反应活性的差异,控制沉积参数,形成Al-(Ti,Al)N-TiN无界面梯度涂层,镀料为含Al 20%~50%(原子百分比)的TiAl合金,沉积过程中基体温度为400~480℃,调整电子枪束流在180~220A,基体偏压为-100~-150V,真空度<0.01Pa,在工件表面沉积TiAl合金底层,镀膜时间为1-2min,引入N2,真空度为0.15~0.4Pa,在镀膜前期,电子枪束流为280~320A,偏压为-20~-30V,沉积时间为10~20min;镀膜后期电子枪束流增加到400~450A,偏压调节到-50~-60V,继续沉积60~80min,涂层厚度为6~8μm,这种涂层内层富Al,外层为B1NaCl结构的硬质(Ti,Al)N和TiN,由于适量Al的加入有效增强了膜/基界面的结合,减少了TiN中针孔的数量和直径,消除了薄膜内部的空洞等缺陷,改善了薄膜的致密性,以这种方法沉积的薄膜,具有较高的膜基结合力、高的硬度和抗磨损性能及良好的抗腐蚀性能和抗粒子冲蚀能力,适宜于作为刀具、模具及海军航空发动机压气机叶片的防护涂层。 | ||
地址 | 110015辽宁省沈阳市沈河区文化路72号 |