| 发明名称 | 带真空泵的检漏器及其工作方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种检漏器，它有一个设计为阻尼真空泵(11)的高真空泵和两个另外的针对大气压力工作的真空泵(21、31)，为避免在试样(42)所在区内和/或检测腔(43)内碳氦化合物污染，建议将两个另外的真空泵(21、31)设计为干式密封真空泵。 | ||
| 申请公布号 | CN1088516C | 申请公布日期 | 2002.07.31 |
| 申请号 | CN95120249.9 | 申请日期 | 1995.11.24 |
| 申请人 | 莱波尔德股份公司 | 发明人 | 托马斯·伯姆 |
| 分类号 | G01M3/20 | 主分类号 | G01M3/20 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 刘志平 |
| 主权项 | 1.带有一个设计为阻尼真空泵(11)的高真空泵和两个另外的针对大气压力工作的真空泵(21、31)的检漏器，其中该两个针对大气压力工作的真空泵中的第一个真空泵(21)与阻尼真空泵(11)的一个初真空接头(27)相连，而第二个针对大气压力工作的真空泵(31)经由一个带阀(29)的导管(28)直接与检漏器入口(1)连接，此外所述的两个真空泵(21、31)的进口侧通过一个导管(37)相互连接，所述的导管配备有一个调节阀(40)，其特征为：这两个另外的真空泵(21、31)设计为干式密封真空泵。 | ||
| 地址 | 联邦德国科恩 | ||