| 发明名称 |
ELECTROSTATIC WAFER CLAMP HAVING ELECTROSTATIC SEAL FOR RETAINING GAS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1226605(A1) |
申请公布日期 |
2002.07.31 |
| 申请号 |
EP20000978321 |
申请日期 |
2000.11.01 |
| 申请人 |
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC. |
发明人 |
LARSEN, GRANT, KENJI |
| 分类号 |
F16J15/04;F16J15/40;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
F16J15/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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