| 发明名称 |
Wafer substrate alignment |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2371731(A) |
申请公布日期 |
2002.07.31 |
| 申请号 |
GB20010001701 |
申请日期 |
2001.01.23 |
| 申请人 |
* MARCONI CASWELL LIMITED;* MARCONI OPTICAL COMPONENTS LIMITED;* BOOKHAM TECHNOLOGY PLC |
发明人 |
RICHARD * BEANLAND |
| 分类号 |
G03F9/00;H01L21/027;H01L21/68;(IPC1-7):G01B11/26 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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