| 发明名称 |
Optomechanical microdevice and optomechanical microdeflector using the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0802439(B1) |
申请公布日期 |
2002.07.31 |
| 申请号 |
EP19970400857 |
申请日期 |
1997.04.16 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
LABEYE, PIERRE |
| 分类号 |
G02B26/08;(IPC1-7):G02B26/08;G02B26/10 |
主分类号 |
G02B26/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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