INSTRUMENT AND METHOD FOR MEASURING RELATIVE HUMIDITY

摘要

Изобретението се отнася до прибор, до метод за реализирането му и до електрическа схема на свързване за определяне на относителната влажност на околната среда в обхват от 0 до 100%. Върху силициева пластина чрез магнетронно разпрашване се отлага тънък слой от платина, който чрез фотолитография и химическо ецване се оформя като долен електрод на прибора. Чувствителният слой на прибора представлявапорьозен слой от Al2O3, който се формира върху платиновия електрод на два етапа: магнетронно разпрашване и отлагане на чист алуминий с последващото муанодно окисление и отгряване при 800 до 12000С впродължение на 15 до 180 s. Горният електрод на прибора се формира чрез фотолитография и химическо ецване на тънък слой от платина, отложен чрез магнетронно разпрашване. Фотолитографските маски на двата електрода са оформени така, че да се осигури удобен монтаж на прибора. Топологията на фотолитографската маска на горния електрод е проектирана по такъв начин, че бързодействието на прибора да е по-малко от 20 s.