| 发明名称 |
ACTIVE ELECTROSTATIC SEAL AND ELECTROSTATIC VACUUM PUMP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1226359(A1) |
申请公布日期 |
2002.07.31 |
| 申请号 |
EP20000976805 |
申请日期 |
2000.11.01 |
| 申请人 |
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC. |
发明人 |
LARSEN, GRANT, KENJI |
| 分类号 |
F04B45/10;F04B43/04;F04B45/047;F04B45/067;F04B45/08;H01L21/027;H01L21/265;H01L21/683;(IPC1-7):F04B43/04;F04B43/09 |
主分类号 |
F04B45/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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