发明名称 Reduced aspect ratio digit line contact process flow used during the formation of a semiconductor dram device
摘要
申请公布号 AU2002243538(A1) 申请公布日期 2002.07.30
申请号 AU20020243538 申请日期 2002.01.15
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 BRENT A. MCCLURE
分类号 H01L21/02;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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