发明名称 |
Thin film dielectric composite materials |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2002243388(A1) |
申请公布日期 |
2002.07.30 |
申请号 |
AU20020243388 |
申请日期 |
2001.12.17 |
申请人 |
THE REGENTS OF THE UNIVERSTY OF CALIFORNIA |
发明人 |
BAE HO PARK;QUANXI JIA;BRADY J. GIBBONS;ALP F. FINDIKOGLU |
分类号 |
C04B35/46;C04B35/465;C04B35/472;C04B35/49;C04B35/495;C04B35/497;C04B35/499;C04B35/50;H01L21/316;(IPC1-7):B32B9/00 |
主分类号 |
C04B35/46 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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