| 发明名称 |
TESTING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0634719(A) |
申请公布日期 |
1994.02.10 |
| 申请号 |
JP19920185531 |
申请日期 |
1992.07.13 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD |
发明人 |
SHINBAYASHI KOJI |
| 分类号 |
G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/06;(IPC1-7):G01R31/28 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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