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发明名称 ETCHING PROCESS
摘要
申请公布号 KR20020062757(A) 申请公布日期 2002.07.29
申请号 KR1020027007648 申请日期 2002.06.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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