| 发明名称 |
STRUCTURE FOE DETECTION OF ACCELERATION AND MANUFACTURE OF ITS SENSOR ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0661509(A) |
申请公布日期 |
1994.03.04 |
| 申请号 |
JP19910264057 |
申请日期 |
1991.10.11 |
| 申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
ROBAATO EMU BOISERU;JIEFUREI BII SANPUSERU |
| 分类号 |
B81B3/00;B81C1/00;G01P15/08;G01P15/135;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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