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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR EXPOSURE
摘要
申请公布号 JPH0684761(A) 申请公布日期 1994.03.25
申请号 JP19920253557 申请日期 1992.08.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SHIBATA TAKESHI;INOUE SOICHI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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