发明名称 气体雷射装置(二)
摘要 在一气体雷射中,放电电极(2,5)之阳极(5)是由不锈钢形成。阳极(5)也可由一金属基础材料(9)形成在此金属基础材料(9)的表面上施以铬膜(10)。一阴极(2)是由钛形成作为基础材料(3)而其表面被氧化。此阴极(2)也可由钼形成作为基础材料(11)而在钼基础材料(11)的表面施以钛膜(12)。此阴极(2)之表面被氧化。
申请公布号 TW240855 申请公布日期 1995.02.11
申请号 TW080206763 申请日期 1989.06.12
申请人 东芝股份有限公司 发明人 寺井清寿;西田公一
分类号 H01J29/04;H01S3/03 主分类号 H01J29/04
代理机构 代理人 林敏生 台北巿南京东路二段一二五号七楼伟成第一大楼
主权项
地址 日本