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发明名称 Wandler mit piezoresistivem Dehnungsmessstreifen und Herstellungsverfahren dazu
摘要
申请公布号 DE69713433(D1) 申请公布日期 2002.07.25
申请号 DE1997613433 申请日期 1997.03.26
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS 发明人 DIEM, BERNARD;VIOLLET-BOSSON, SYLVIE;TOURET, PATRICIA
分类号 G01L1/18;G01B7/16;G01L9/00;H01L29/84;H01L41/08;(IPC1-7):G01L9/06;G01H11/06 主分类号 G01L1/18
代理机构 代理人
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