| 发明名称 |
PLASMA PROCESSING METHOD FOR MICROWAVE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07130714(A) |
申请公布日期 |
1995.05.19 |
| 申请号 |
JP19930278084 |
申请日期 |
1993.11.08 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SATO HITOAKI;KANEKIYO TAKAMITSU;MITSUTA AKIHIKO;SHIMIZU FUMIO;TAKEI HIDENORI;FUKUYAMA RYOJI |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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