| 发明名称 |
SLICING OF SINGLE-CRYSTAL FILMS USING ION IMPLANTATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL145808(D0) |
申请公布日期 |
2002.07.25 |
| 申请号 |
IL20000145808 |
申请日期 |
2000.04.07 |
| 申请人 |
THE TRUSTEES OF COLUMBIA UNIVERSITY IN THE CITY OF NEW YORK |
发明人 |
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| 分类号 |
C30B33/08;C23C14/48;C30B29/30;C30B31/22;C30B33/00;G02B6/13;G02F1/03;G02F1/09;G02F1/355;G02F1/37;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/306;H01L21/762 |
主分类号 |
C30B33/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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