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发明名称 Herstellungsverfahren eines Kondensators für integrierte Schaltkreise
摘要
申请公布号 DE69527160(D1) 申请公布日期 2002.07.25
申请号 DE19956027160 申请日期 1995.12.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 UEMOTO, YASUHIRO;FUJII, EIJI;SHIMADA, YASUHIRO;AZUMA, MASAMICHI;ARITA, KOJI;NAGANO, YOSHIHISA;INOUE, ATSUO;IZUTSU, YASUFUMI
分类号 H01L21/02;H01L21/314;H01L27/115;(IPC1-7):H01L21/02;H01L21/823 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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