| 发明名称 |
Hohlkathoden-Sputter-Ionenquelle zur Erzeugung von Ionenstrahlen hoher Intensität |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10010706(C2) |
申请公布日期 |
2002.07.25 |
| 申请号 |
DE20001010706 |
申请日期 |
2000.03.04 |
| 申请人 |
GESELLSCHAFT FUER SCHWERIONENFORSCHUNG MBH |
发明人 |
MUELLER, MICHAEL |
| 分类号 |
H01J27/04;H01J27/20;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/04 |
主分类号 |
H01J27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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