发明名称 GASVERSORGUNGSVORRICHTUNG UND IHRE VERWENDUNG FÜR EINE FILMABSCHEIDUNGSANLAGE
摘要
申请公布号 AT139580(T) 申请公布日期 1996.07.15
申请号 AT19900310507T 申请日期 1990.09.25
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 MIKOSHIBA, NOBUO;TSUBOUCHI, KAZUO;MASU, KAZUYA
分类号 C23C16/20;C23C16/448;C30B25/14;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/20
代理机构 代理人
主权项
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