ELECTROSTATIC CORRECTOR

摘要

Der vorgeschlagene Korrektor baut auf einem elektrostastischen Korrektor mit gerader optischer Achse (1) und zwei Korrkturstücken (8, 9) auf, die antlang der optischen Achse hinter einander angeordnet sind und jeweils elektrische Quadrupolfelder und überlagerte Rundlinsenfelder aufweisen, wobei in einem Korrektrustück das von einem Achsenpunkt erzeugte astigmatische Zwischenbild des einen Schnitts und im anderen Korrekturstück das dazu senkrechte astigmatische Zwischenbild des anderen Schnitts zu liegen kommt. Es wird vorgeschlagen, zur Beseitigung des Farbfehlers von Teilchenlinsen einen Schnitts zu liegen kommt. Es wird vorgeschlagen, zur Beseitigung des Farbfehlers von Teilchenlinsen einen Korrektor mit zwei apparativ gleich ausgebildeten Korrektureinheiten vorzusehen, welche jeweils eines der Korrekturstücke aufweisen, an dessen Ein-und Ausgangsseiten jeweils zwei weitere elektrostatische Quadropole angeordnet sind und welche die axialen Bahnen teleskopisch in einer 1:1-Abbildung abbilden. Gemäss Vorschlag sind beide Korrektureinheiten entlang der optischen Achse hinter einenader und um 90 Grad um die optische Achse gegeneinander verdreht angeordnet.