发明名称 太阳光谱选择性吸收涂层
摘要 一种太阳光谱选择性吸收涂层,涉及太阳能集热器技术领域。包括反射层,吸收层,减反射层,其特征在于吸收层是以钛及合金铝为阴极在氮气、空气、氮气+氧气气氛中溅射而成的铝氮+钛氮-铝钛[(AlN+TiN)-AlTi]膜及铝氮氧+钛氮氧-铝钛[(AlNO+TiNO)-AlTi]膜,其减反射层为铝氮+钛氮(AlN+TiN)膜及铝氮氧+钛氮氧(AlNO+TiNO)膜。本发明制备的太阳光谱选择性吸收涂层在大气状态下经350℃,250小时,或400℃,50小时,或450℃,80小时烘烤后,其太阳吸收比α都可达0.93以上,发射率ε=0.06~0.10(80℃)。
申请公布号 CN1360084A 申请公布日期 2002.07.24
申请号 CN01138135.3 申请日期 2001.12.31
申请人 清华大学 发明人 史月艳;申越
分类号 C23C14/34;F24J2/48 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项 1.一种太阳光谱选择性吸收涂层,包括反射层,吸收层,减反射层,其特征在于所述吸收层是以钛及合金铝为阴极在氮气气氛中溅射而成的铝氮+钛氮-铝钛[(AlN+TiN)-AlTi]膜。
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