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发明名称
摘要
申请公布号
JP3305770(B2)
申请公布日期
2002.07.24
申请号
JP19920272064
申请日期
1992.10.09
申请人
发明人
分类号
H01L21/60;H05K1/03;H05K3/38;(IPC1-7):H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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